Mikrosystemtechnik

Ziele

Ziel der Vorlesung ist es, den Hörer mit Begriffen und Verfahren aus den verschiedensten Bereichen der Mikrotechnologien sowie der Systemtechniken bekannt zu machen. Dem systemorientierten Elektrotechniker kommt eine zentrale Mittlerrolle zwischen den Technologen und den Informatikern zu. Der Hörer soll daher die Fähigkeit erlangen, sich mit Experten der verschiedensten technischen Fachdiszplinen verständigen zu können.  

Inhalte

Zunächst wird der Begriff Mikrosystemtechnik bestimmt und im Zusammenhang mit verwandten Themen diskutiert. Danach werden die wichtigsten Mikrostrukturtechniken vorgestellt. Es wird eine Einführung in die vertikalen und lateralen Mikrostrukturtechniken mit Dünnfilm- bzw. mikrolithographischen Methoden gegeben. Die wichtigsten Trocken- und Nassätzverfahren für mikrooptische und mikromechanische Anwendungen werden vorgestellt und diskutiert. Die verschiedenen Klassen mikrooptischer Komponenten werden erläutert. Dazu gehören sowohl refraktive und diffraktive optische Komponenten als auch aktive und passive Wellenleiter in integrierten optischen Systemen und Fasern. Mikromechanische Herstellungsverfahren in Silizium und Kunststoff mit dem LIGA-Verfahren werden anhand von Beispielen herkömmlicher Mikrosysteme dargestellt.