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Mikrosystemtechnik

Mikrosystemtechnik
Typ: Vorlesung (V) Links:
Lehrstuhl: Fakultät f. Elektrotechnik und Informationstechnik
Semester: WS 17/18
Zeit: 17.10.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude


24.10.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

07.11.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

14.11.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

21.11.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

28.11.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

05.12.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

12.12.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

19.12.2017
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

09.01.2018
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

16.01.2018
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

23.01.2018
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

30.01.2018
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude

06.02.2018
09:45 - 11:15 wöchentlich
30.35 Hochspannungstechnik-Hörsaal (HSI) 30.35 Hochspannungstechnik, Institutsgebäude


Beginn: 17.10.2017
Dozent: Prof. Dr. rer. nat. Wilhelm Stork
SWS: 2
LVNr.: 23625
Hinweis:

Literaturhinweise:

  • Menz, W. und Mohr, J.:
    Mikrosystemtechnik für Ingenieure. Wiley-VCH, Weinheim, 1997
  • Mescheder, U.:
    Mikrosystemtechnik. B.G. Teubner, Stuttgart, 2000
  • Gerlach, G. und Dötzel, W.:
    Grundlagen der Mikrosystemtechnik. Hanser, München, 1997
  • Hecht, E.:
    Optics. Addison-Wesley, San Francisco, 2002
  • Sinzinger, S. und Jahns, J.:
    Microoptics. Wiley-VCH, Weinheim, 1999
  • Büttgenbach, S.:
    Mikromechanik. Teubner, Stuttgart, 1994
  • Fatikow, S. und Rembold, U.:
    Microsystem Technology and Microrobotics. Springer, Berlin, 1997
  • Gardner, J.W. und Varadan, V.K. and Osama O,A.:
    Microsensors, MEMS, and Smart Devices. Wiley-VCH, Weinheim, 2001
Vortragssprachedeutsch

Mikrosystemtechnik

Voraussetzungen

Keine.

 

Ziele

Ziel der Vorlesung ist es, den Hörer mit Begriffen und Verfahren aus den verschiedensten Bereichen der Mikrotechnologien sowie der Systemtechniken bekannt zu machen. Dem systemorientierten Elektrotechniker kommt eine zentrale Mittlerrolle zwischen den Technologen und den Informatikern zu. Der Hörer soll daher die Fähigkeit erlangen, sich mit Experten der verschiedensten technischen Fachdiszplinen verständigen zu können.  

 

Inhalte

Zunächst wird der Begriff Mikrosystemtechnik bestimmt und im Zusammenhang mit verwandten Themen diskutiert. Danach werden die wichtigsten Mikrostrukturtechniken vorgestellt. Es wird eine Einführung in die vertikalen und lateralen Mikrostrukturtechniken mit Dünnfilm- bzw. mikrolithographischen Methoden gegeben. Die wichtigsten Trocken- und Nassätzverfahren für mikrooptische und mikromechanische Anwendungen werden vorgestellt und diskutiert. Die verschiedenen Klassen mikrooptischer Komponenten werden erläutert. Dazu gehören sowohl refraktive und diffraktive optische Komponenten als auch aktive und passive Wellenleiter in integrierten optischen Systemen und Fasern. Mikromechanische Herstellungsverfahren in Silizium und Kunststoff mit dem LIGA-Verfahren werden anhand von Beispielen herkömmlicher Mikrosysteme dargestellt.